| 产品特性：无真空 | 是否进口：是 | 原产国/地区：英国 |
| 加工定制：是 | 品牌：Ossila/欧西拉 | 型号：L2001A3-U1 |
| 外形尺寸：225*170mm | 重量：2.9Kg | 产品用途：半导体硅片的匀胶镀膜 |
Ossila 旋涂机经过精心设计，可提高薄膜质量，无需真空泵和氮气管路，可以生产出零基材翘曲的均匀涂层。它简单明了的操作和设计使旋涂快速、简单、便宜，而不会影响功能。
Ossila 旋涂机具有直观的控制软件，无需任何先决条件设备，是一款真正的即插即用设备。我们的旋涂机结构紧凑，在实验室工作台上占用的空间非常小，可以轻松地在手套箱内使用。
为什么使用无真空设计？
市场上的许多旋涂机在旋涂时使用真空泵来夹持基材。Ossila 旋涂机采用创新的卡盘设计，不需要真空。基材通过切入聚丙烯卡盘的凹槽固定到位，从而将多余的涂层材料排出。
无真空旋涂机使用创新的卡盘在旋丝循环中将基板固定到位
薄基材可能会被真空吸盘向内翘曲，从而影响涂层的均匀性。真空作用力对沉积在多孔基材（如陶瓷）顶部的溶液的影响也会导致不均匀性。这会降低设备的质量和性能。无真空卡盘通过保持基材平坦且不受损坏来确保均匀的薄膜分布，即使它们是柔性基材。
标准旋涂机上的真空密封环导致的基板翘曲（左） 无真空卡盘可实现均匀的薄膜分布（右）
没有真空管路，Ossila 旋涂机可以在任何地方设置一个电源插座。由于其易于设置和紧凑的尺寸，可以在实验室工作台、通风橱或手套箱中旋转涂层，所有这些都在同一天完成。
大多数旋涂机还承担着真空泵的隐性成本，而真空泵的隐性成本通常不包括在整个系统价格中。真空泵容易损坏，导致昂贵的维修和延误。这主要是由于过量的溶剂被吸入真空管路，损坏了内部组件。使用免真空 Ossila 旋涂机可以降低短期和长期成本，它为您提供开始旋涂所需的一切。
产品特点：
旋转速度范围大：旋转速度范围为 120 至 10,000 rpm，涵盖一系列不同的旋涂条件——从慢速干结晶到超薄膜。
易于安装：无需连接真空或氮气管路，只需插入电源即可使用。
智能操作：内置的控制系统允许您拥有最多 10 个独立的用户配置文件 - 每个配置文件能够保存 10 个配方，最多 50 个步骤。
旋涂质量好：内置水平仪和可调节支脚确保了平坦的旋转轴，无真空卡盘可防止薄基材翘曲。这两个因素都使薄膜的均匀性更好，设备性能也更好。
安全性好：旋涂机由 24 V DC 电源供电，因此不需要高电压或具有额外要求的专业电源。防止溶剂和篡改，有一个磁性安全开关，当盖子打开时停止电机。
优化的卡盘设计：Ossila 旋涂机卡盘的设计已经过深入研究和优化。使用流体动力学模拟来跟踪卡盘区域的气流，我们设计了卡盘，以改善基材上的气流，减少溶剂积聚，同时确保在极高转速下的机械稳定性。
技术参数：
| 标准旋涂机 | 高速旋涂机 | |
| 用户配置文件 | 10 | 10 |
|---|---|---|
| 程序 | 每个用户配置文件上有 10 个程序，每个程序最多 50 个步骤 | 每个用户配置文件上有 10 个程序，每个程序最多 50 个步骤 |
| 速度稳定性 | <2% 误差 | <0.25% 误差 |
| 速度 | 120 至 6000 RPM | 500 至 10,000 RPM |
| 旋转时间 | 1 – 1000 秒 | 1 – 3600 秒 |
| 电源 | DC 24 V 2 A，通过 100–240 V 50/60 Hz 电源适配器 | DC 24 V 2 A，通过 100–240 V 50/60 Hz 电源适配器 |
| 安全开关 | 门上的磁性安全开关 | 门上的磁性安全开关 |
| 尺寸（深 x 宽 x 高） | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米（8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸） | 225 毫米 x 170 毫米 x 140 毫米（8.86 英寸 x 6.69 英寸 x 5.51 英寸） |
| 重量 | 2.9 千克 | 3.7 千克 |
| 材料 | 聚丙烯碗，钢制外壳，钢化玻璃盖 | 聚四氟乙烯碗，粉末涂层钢制外壳，钢化玻璃盖 |
